Inspección de obleas

Inspección y metrología en Obleas

 

HSEB es una compañía líder en la fabricación de sistemas de inspección y metrología ópticos. Diseña y fabrica módulos y componentes  para obleas de hasta 450 mm, para células solares y cualquier tipo de substratos planos. Basándose en una gama de sistemas de inspección  bien establecidos, optimizan  las herramientas  para ajustarse a las necesidades particulares de sus clientes.

Décadas de experiencia en óptica, ingeniería y software nos permiten ajustarnos a sus aplicación tanto en sistemas manuales como automáticos  para la fabricación de dispositivos semiconductores y MEMS.

Desde sus orígenes, en 1991, como centro de I+D de Carl Zeiss Jena, la compañía evolucionó desde un centro de investigación puro hasta una empresa de producción de tamaño medio con gran potencial científico–técnico.

 

Sistema de inspección de obleas de 200mm AXIOSPECT 202
Aplicaciones:

 

Macro inspección.

– Defectos, arañazos, partículas, desenfoques.

– Control de calidad de obleas.

– Control de calidad de MEMS

Micro inspección / Revisión.

– Clasificación de defectos, datos escaneados

– Arañazos, partículas, pads, defectos de patrones

– Desenfoque, homgeneidad.

– Información topográfica.

– Revisión automática con reconocimiento de defectos.

Metrología

– Medida de espesor de capas multiples.

– Propiedades ópticas de  películas, índices de refracción, materiales.

– Dimensiones críticas, medidas de superposición y diámetro.

– Medidas complejas con diferentes niveles de enfoque.

– Comprobación de marcas de alineamiento.

Aplicaciones especificas para MEMS.

– Microscopia de infrarrojos  para inspección de estructuras enterradas.

– Inspección de  superposición de obleas.

– medidas de alineamiento.

– Medidas de espesor en  membranas y cavidades  en semiconductores.

 

Inspección de bordes

– Laminación, grietas, desmoronamiento.

– EBR/WEE, espesor, medidas de centrado.

– Imágenes de bordes con detección automática de defectos y preclasificación.

 

Aplicaciones de investigación y desarrollo.

– Microscopios versátiles autónomos  para técnicas ce contraste.          – Campo brillante, campo oscuro, contraste de interferencia diferencial (DIC).          – Microscopios de luz blanca, confocal, de fluorescencia y polarización.          – Microscopía i-line, DUV y infrarrojo próximo.          – Iluminación  con luz incidente y  transmitida.          – Objetivos Carl Zeiss  de alta gama.

 

Microscopio de inspección óptica Axiotron 2