Espesor y constantes ópticas de películas delgadas

Fabricante de equipos para medidas del espesor y constantes ópticas en películas / láminas delgadas.

Semiconsoft-Medidas de esoesor y contantes ópticasLos sistemas de medida en películas o capas delgadas MProbe, pueden medir prácticamente cualquier película translúcida delgada con espesor desde 1 nm hasta 1 mm.   Se puede medir de forma rápida y fiablemente el espesor y las constantes ópticas en la mayoría de las películas translúcidas o ligeramente absorbentes como: óxidos, nitruros, fotosensibles, polímeros, semiconductores (AlGaAs, InGaAs, CdTe, CIGS), revestimientos duros (SiC, DLC), revestimientos de polímeros (Parileno, poliamidas), pequeñas películas metálicas y muchos más.

Rango espesores: 1 nm-1 mm. Rango longitudes de onda: 200 nm- 5000 nm.

– Medidas y análisis en tiempo real: Multi-capa, delgada, gruesa, no uniformes, etc… – Flexible: De banco o in-situ, conforme R&D. Fácil integración en un sistema usando TCP o interface Modbus. – Medidas: Espesor y constantes ópticas (índice de refracción y coeficiente de absorción). – Amigable y potente: Medidas y análisis con un solo clic. Potentes herramientas: Sensibilidad y simulación, corrección de fondo y escala, unión de capas y materiales, proceso de producción por lotes.

Precisión: 0,01 nm ó 0,01%. Sensibilidad: 0,2% ó 1 nm. Estabilidad: 0,02 nm ó 0,03%. Tamaño estándar del haz 3 mm, hasta 3 um. Tamaño de la muestra desde 1 mm.

Los sistemas estándar para reflectancia y/o transmitancia espectroscópica son:

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Modelo Rango longitud de onda Espectrómetro/ Detector/ Fuente de luz Rango espesor
VIS 400-1100 nm F4/ Si 3600pixels/ Halógeno Tungsteno 15 nm-20um(opción hasta 50 um)
UVVisSR 200-1100 nm F4/ Si CCD 3600 pixels/ Halóneno Deuterio&Tungsteno 3 nm- 20 um(opción hasta 50 um)
HRViS 700-1000 nm F4 Alta resolución/ Si 3600 pixels/ Halógeno Tungsteno 1 um-400 um
NIR 900-1700 nm F2 Espectrómetro transmisión TVG/ 512 InGaAs/ Halógeno Tungsteno 100 nm-200 um
VISNIR 400- 1700 nm F4 Si CCD 3600 pixels (canal Vis); F2 Espectrómetro Transmisión TVG/ 512 InGaAs PDA(NIR canal)/ Halógeno Tungsteno 15 nm-200 um
UVVISNIR 200- 1700 nm F4 Si CCD 3600 pixels (canal Vis); F2 Espectrómetro Transmisión TVG/ 512 InGaAs PDA(NIR canal)/ Halógeno Deuterio&Tungsteno 3 nm-200 um
NIRSCAN 900-5000 nm Espectrómetros scanning/ InGaAs/ Detector MCT(tescaneo<60sg) TH-SiN 100 nm-800 um
XT 1590-1650 nm F2 Espectrómetro transmisión TVG/              512 InGaAs/ Halógeno Tungsteno. 10 um-1 mm

Ventajas de la reflectancia espectróscopica: – Mayor precisión en la medida de espesores (con la excepción de películas muy delgadas). – Medida de espesor en películas > 10um. Sistema Mprobe hasta 50 um. – Mayor velocidad en las medidas, < 1ms. – Medida de la aspereza de la superficie.    Ventajas de la elipsometría espectroscópica: – Medida de películas muy delgadas < 5 nm. – Determinación de los valores n y k mediante una inversión directa de la medidas efectuadas.

Puedes ver esta presentación para conocer mejor los equipos para medidas de espesor y constantes ópticas en películas delgadas.